高溫真空爐專用石墨氈極限溫度真空下2500度，惰性氣體下3500度。由于高溫碳化，石墨化后，氈中含有的灰分極少，使用范圍更廣熱損失更小。硬氈厚度分為20-25-30、35-40、45-50-55-60-180mm等多種規(guī)格，表面可以包覆石墨薄、石墨布、C/C、SiC石墨紙，等材料。主要應用于單晶，多晶爐、藍寶石，炭化爐、石墨化爐，石英爐、真空爐、感應爐、工頻爐，高頻爐以及熱平衡反應爐、熱處理爐、燒結爐、釬焊爐、高壓氣淬爐等高溫爐體的保溫及耐火材料